3月7日，“光刻機(jī)巨頭ASML被傳離開荷蘭”相關(guān)話題登上微博熱搜。

據(jù)荷蘭當(dāng)?shù)叵嚓P(guān)媒體報(bào)道，因荷蘭政府的反移民政策傾向，光刻機(jī)巨頭阿斯麥（ASML）正計(jì)劃搬離荷蘭，目前，阿斯麥已向荷蘭政府提出了意向，表示將有可能在其他地方擴(kuò)張或遷移，傾向于法國(guó)。對(duì)此，直線電機(jī)生產(chǎn)廠家 小編了解到，荷蘭政府已成立了一個(gè)名為“貝多芬計(jì)劃”的特別工作組，以探索阻止阿斯麥離開的方法。

說(shuō)到阿斯麥，眾所周知， 阿斯麥是知名的光刻設(shè)備供應(yīng)商之一，該公司提供的光刻系統(tǒng)主要用于制造復(fù)雜的集成電路，一臺(tái)設(shè)備高達(dá)幾十億。

而大家知道嗎，直線電機(jī)與光刻機(jī)息息相關(guān)。直線電機(jī)因具備高速度、高精度等特點(diǎn)，被大力引入光刻機(jī)中作為驅(qū)動(dòng)裝置。直線電機(jī)主要用在光刻機(jī)掩模臺(tái)系統(tǒng)中，直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)工況分為掃描運(yùn)動(dòng)和定位運(yùn)動(dòng)，其中掃描運(yùn)動(dòng)主要完成硅片曝光處理，該運(yùn)動(dòng)對(duì)定位精度以及速度穩(wěn)定性有很高要求，在穩(wěn)定基礎(chǔ)上追求時(shí)間的優(yōu)化。

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